D07-19BM質量流量控制器

產品簡介

主要技術指標型號 D07-19B 1 流量規格（ 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM （ 0~1,2,3,5,10,20,30） SLM 2 準確度 ±1 % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.） 3 線性 ±（0.5~1） % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.） 4 D07-19BM質量流量控制器

廠商性質：代理商

更新時間：2015-06-09

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無損檢測儀器

孔隙/漏涂點檢測儀電位計鐵素體含量檢測儀超聲波測厚儀紅外線測溫儀測速儀裂紋測深儀超聲波流量計涂層測厚儀硬度計紅外測油儀萬用表測距儀鋰離子電源

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D07-19BM質量流量控制器

主要技術指標型號 D07-19B 1 流量規格（ 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM （ 0~1,2,3,5,10,20,30） SLM 2 準確度 ±1 % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.） 3 線性 ±（0.5~1） % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.） 4 重復精度 ±0.2 % F.S. 5 響應時間

D07-19BM質量流量控制器

特點: ★高精度，快響應型 ★橡膠密封、模擬電路的MFC ★采用DB15型電插頭，標準機械接頭 ★兼容用途: 質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

型號 D07-19B
1 流量規格（ 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500） SCCM （ 0~1,2,3,5,10,20,30） SLM

2 準確度 ±1 % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.）
3 線性 ±（0.5~1） % F.S. （20,30SLM: ±2 % F.S.）
4 重復精度 ±0.2 % F.S.
5 響應時間 1 ~ 4 sec
6 氣壓降 <0.02 MPa （2.9 psid）

7 耐壓 10 MPa （1450.4 psig）

8 工作環境溫度5 ℃ ~ 45 ℃
9 輸入輸出信號
0 V ~ +5.00 V
（輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA）
10 電源
+15 V 50 mA
-15V 200 mA
11 外形尺寸 mm Swagelok：127×38×107 VCR：124×38×107
19 重量 kg 0.7

注意:
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。
質量流量的單位規定為: SCCM （標準毫升/分）;
SLM （標準升/分）
標準狀態規定為: 溫度 --- 273.15K （ 0℃ ）;
氣壓 — 101325 Pa （760mm Hg）
F.S. （Full Scale）: 滿量程值

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